热丝化学气相沉积（HFCVD）金刚石涂层设备厂家《地震资讯》

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发布时间：2024-07-22

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我国金刚石半导体产业与先进国家相比存在：1、关键设备依赖进口，无自主知识产权，易遭到国外封锁；2、缺乏大尺寸金刚石衬底制备和薄膜外延生长工艺；3、金刚石研磨、键合、减薄技术不成熟等差距。本项目集合高校顶级科研团队和工业界优秀工程师团队，打通产业化所需的高质量金刚石薄膜生长、HFCVD热丝CVD金刚石设备定制、晶圆抛磨键合减薄等研发和生产环节，从工具级、热学级产品切入，并将持续推动光学级、电子级甚至量子级产品研发。

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