高真空超洁净气氛炉

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项目	配置和指标
1	设备结构
1	设备整体卧式前后开门结构，304 材质镜面抛光，炉体双层水冷，炉壳中间通水冷却。炉体侧部设有水冷电极，炉体设有真空抽气接口、电极接口、充气接口等。保温屏固定在不锈钢框架上，围绕在加热室外侧布置，真空镀膜室φ1200×1000mm。
2	电控系统
2	由触摸屏、可编程控制器、调压器、真空计及记录仪等组成，以实现供电、控制、记录、监视、报警保护功能。
3	加热与工作系统
3	高纯钨/钼加热器，加热区域300（深）200（宽）200（高）mm，最大加热功率60KW，最高温度1800℃，工作温度≤1600℃，控温精度±1℃，测温精度±1%FS，温度均匀性±6℃。多层钨、钼反射屏和高温不锈钢屏组合成封闭式空间保温。钨铼热电偶、监测热电偶组合控温。
4	真空系统
4	真空系统由分子泵、机械泵、真空规管、高真空挡板阀、真空放气阀、真空波纹管等组成，干泵抽速160m3/h，分子泵抽速18000 m3/h，极限真空度6.67×10-4Pa，工作真空度6.67×10-3Pa。
5	水冷系统
5	由各种阀、测温装置、水流量计及管道相关装置组成，具有关键位置冷却水超温，断水报警并执行相应的保护动作。