RF160 等离子体清洗机

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项目	配置和指标
1	整体配置
1	布置电容耦合和电感耦合两套等离子体发生装置，匹配两个清洗腔室。
2	电容耦合等离子体配置
2	电容耦合等离子体内腔尺寸 Ø165X55mm，衬底与电极距离15～50mm可调，极限真空度0.1Pa，工作真空度60～500 Pa。2路工作气路，配相应的流量控制器和仪表。电源输出功率100W（30/60/100W）三档可调。
3	电感耦合等离子体配置
3	电感耦合等离子体内石英管尺寸Ø160X190mm（壁厚7mm），极限真空度：0.1Pa，极限真空度0.1Pa，工作真空度60～500 Pa。2路工作气路，配相应的流量控制器和仪表。电源输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。
4	真空泵参数
4	外接真空泵，真空泵规格2L、AC220V