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项目
配置和指标 1
设备整体 真空专用不锈钢制作，真空泵、冷却系统及冷阱集中在一起，整机整体可移动。真空腔体内外表面电化学抛光，温度自动控制，配电力系统检测与报警、水压检测、温度检测等 2
工艺概况 可涂覆0.1-100μm薄膜，在真空中通过材料升华、裂解、聚合完成工艺，升华区温度 200℃，偏差±2℃ 裂解区温度 700℃，偏差±2℃。
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