真空器件检漏台

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项目	配置和指标
1	整体配置
1	设备整体由真空系统、检漏室、过渡室、质谱仪、控制系统组成，真空储存室采用304不锈钢制造，内外电解抛光，预留法兰若干，配检漏工件安装平台7套。四极质谱仪1台。
2	真空系统
2	配24m3/h抽速涡旋干泵、抽速2232m3/h磁悬浮分子泵，腔体极限真空度≤ 2X10-5Pa，配量程105Pa~10-6Pa复合真空计，高低真空规管2套。
3	检漏指标
3	测量模式下的抽速2.5 l/s， 1~100分子数，可检测最小漏率至1·10E-13 Pa·m3/s，运行预备时间3min，响应时间0.5s，泄漏率线性对数输出。