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高频高真空金属陶瓷封接设备

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高频高真空金属陶瓷封接设备

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  • 产品描述

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    		配置和指标

    1

    		系统控制
    工业级工控触摸屏，标配真空界面、金属化工艺参数操作及显示、高频封接工艺参数操作及显示等。标准电控柜，配有过压、欠压保护, 相极保护, 安全互锁, 紧急停车按钮等安保器件，具有电源分配供电及电气单元的安装与链接。

    2

    		陶瓷金属化室
    工艺腔体材质为304不锈钢，内外电解抛光，1进出样品前开门，位于手套箱内，1检修维护后开门，均带观察窗，内部防污玻璃可更换，预留多个法兰接口。

    2.1

    		真空系统
    真空配置抽速35m3/h涡旋干泵，气动阀控制；抽速4320m3/h磁悬浮分子泵，插板阀控制。极限真空度≤ 2E-7 Torr，配大气到2E-7Torr宽量程复合真空计。若干套气动截止阀控制充放气和工艺气体引入。1流量控制器标定H2，量程范围0~200sccm，1路流量控制器标定N2，量程范围0~500sccm。

    2.2

    		 工艺配置
    配水冷电极3套；金属加热带3组，加热温度1800℃±5℃；配PID闭环控温20KW温控加热电源1台，温控精度±2摄氏度；配全金属隔热屏1套；安装骨架+4层Mo屏+4层高温不锈钢屏，配耐高温物料承载架，Mo制金属承重体及托盘。

    3

    		高频感应封接室
    工艺腔体材质为304不锈钢，内外电解抛光，1进出样品前开门，位于手套箱内，1检修维护后开门，均带观察窗，内部防污玻璃可更换，预留多个法兰接口。

    3.1

    		真空系统
    真空配置抽速20m3/h涡旋干泵，气动阀控制；抽速2232m3/h磁悬浮分子泵，插板阀控制。极限真空度≤ 2E-7 Torr，配宽量程复合真空计，从大气到2E-7Torr。若干套气动截止阀控制充放气和工艺气体引入。

    3.2

    		工艺配置
    配高频水冷电极2套；配高频电感线圈1组，适用频率40KHz；配电感线圈升降机构1套，升降高度200mm；配10KW高频电源1台，电源输出正弦波40KHz，电流输出调整2A~50A；配电源输出控制器，最大控制电流50A，接触电阻<0.005Ω，时间控制范围1s~180s，输入端带瞬变阻尼器；设工件夹持、定位装置，配烘烤照明电源1.6KW/80V；手动可调。

    3.3

    		手套箱
    设备仓手套箱长1500mm ，宽330mm，四手套位，该仓安装金属化真空室和封接真空室进出料门，下底部设有样品转移轨道。操作仓手套箱长1200mm ，宽750mm，四手套位，该仓备有物料安放架，用于该设备工艺过程中应用物品的摆放和存储。另配进出样品过渡仓。

    3.4

    		机架
    安装手套箱及固定金属化真空室和高频封接真空室，机架安装有脚轮，可进行位置移动，调整支撑支架即可固定。 

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